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日本screen用于光刻的黃光源SEBAPRO Light 光學測量儀

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更新日期:2024-03-22

簡要描述:

日本screen用于光刻的黃光源SEBAPRO Light
光源使用不具有抗蝕劑敏感波長范圍的國產高亮度LED。維護工程師和工藝工程師可以放心使用。

日本screen用于光刻的黃光源SEBAPRO Light 光學測量儀
產品種類臺式數顯功能
溫控功能產地進口

日本screen用于光刻的黃光源SEBAPRO Light

活躍于各種光刻環境。

光源使用不具有抗蝕劑敏感波長范圍的國產高亮度LED。維護工程師和工藝工程師可以放心使用。高效的驅動電路設計,實現了與白光LED同等的功耗水平。采用變焦機構,投光區域可通過操作調節環從寬到窄自由調節。

特征
  • 光源使用不具有抗蝕劑敏感波長范圍的黃色LED。

  • 采用高亮度、高效率的驅動電路。實現與白色 LED 相同的省電水平。

  • 平衡合身性和便攜性的設計。隨附一條帶子以確保牢固固定。

SEBAPRO Light(光刻和維護用燈)

一種高強度黃光,非常適合在高級曝光機和涂布機/顯影設備等光刻環境中工作。它消除了暴露在白光下的風險,并顯著提高了可加工性。

最新型號為充電規范Rev2。

SEBAPRO Light Surface(用于檢查不均勻涂層的光)

便于現場檢查涂層不均勻性的手持燈。使現場決策更快,大大改善了過程評估和設備條件設置工作。

后繼車型于 2021 年 4 月發布。

發射光譜

日本screen用于光刻的黃光源SEBAPRO Light

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